MIM Capacitors and Interface Properties
-DRAM 커패시터의 개발은 다층으로 진화하고 있으며 기둥 구조의 현재 DRAM 커패시터의 기존 구조가 변형되지 않는 한 MIM(금속-절연-금속)의 계면 특성을 개선하는 것은 차세대 커패시터 개발의 주요 주제로 이에 대한 연구를 소개함.