세미나

MIM Capacitors and Interface Properties

  • 일시 2024-03-21 15:00 ~ 17:00
  • 장소 광개토관 205
  • 연사 이웅규교수
  • 소속 숭실 대학교

-DRAM 커패시터의 개발은 다층으로 진화하고 있으며 기둥 구조의 현재 DRAM 커패시터의 기존 구조가 변형되지 않는 한 MIM(금속-절연-금속)의 계면 특성을 개선하는 것은 차세대 커패시터 개발의 주요 주제로 이에 대한 연구를 소개함.