세미나
Polymer-based High-k Dielectrics for Thin-Film Transistor Applications
- 일시 2025-04-03 16:00 ~ 18:00
- 장소 광개토관 205
- 연사 김현석 교수
- 소속 동국대학교
발표 내용 :
•고분자 기반 유기물 고유전율 유전체 소재와 이를 제조하는 공정에 대해 소개하고, 용액 공정에서의 문제점에 대해 소개함.
•진공기반 열분해 CVD(화학 기상 증착) 방법을 기반으로 하는 파릴렌 기반 고분자 유전체 연구에 대해 설명함.
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