연구 Highlight
[출원]전자 방출용 에미터 및 이의 제조방법
- 발명인
이내성,ABBAS SAYED ZAFAR,이재휘
- 특허번호
10-2022-0001435
- 게재권/집
대한민국 특허청
- 페이지
1 ~ 23
- 발표일
2022-01-05
- URLhttp://kpat.kipris.or.kr/kpat/biblioa.do?method=biblioFrame
본 발명은 냉전자를 방출하기 위한 에미터 및 그 제작방법에 관한 것으로 [0001] 더욱 상세하게는 실리사이드가 형성된 CNT(탄소나노튜브) 에미터 및 그 제작 방법에 관한 것임.
냉전자를 방출하기 위한 CNT 에미터 및 그 제조방법이 개시된다. 페이스를 형성하는 필러들은 Ni, Al2O3 및 Si를 가진다. 페이스트 내의 유기물을 제거하기 위한 소성 공정과는 별도로 고온의 진공 열처리 공정이 수행되어 금속 실리사이드를 형성한다. 형성된 금속 실리사이드는 기판과 에미션 층의 접착력을 제공하고, 에미션 층 내부의 응집력을 향상시킨다.
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