[출원]전자 방출용 에미터(Emitter of used for emitting electron)
본 발명은 냉전자를 방출하기 위한 에미터 및 그 제작방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 금속 실리사이드가 형성된 CNT(탄소나노튜브) 에미터 및 그 제작 방법에 관한 것이다. 냉전자를 방출하기 위한 CNT 에미터 및 그 제조방법이 개시된다. 페이스를 형성하는 필러들은 Ni, Al2O3 및 Si를 가진다. 페이스트 내의 유기물을 제거하기 위한 소성 공정과는 별도로 열처리 공정이 수행되어 금속 실리사이드를 형성한다. 형성된 금속 실리사이드는 기판과 페이스트의 접착력을 제공하고, 페이스트 내부의 응집력을 향상시킨다.