[출원]피 타입의 화합물 반도체의 제조방법(Method of manufacturing P-type Compound Semiconductor)
- 발명인
이내성, 김상철, 이석헌
- 특허번호
10-2021-0000646
- 게재권/집
대한민국 특허청
- 페이지
1~19
- 발표일
2021-01-05
- URL
본 발명은 발광 다이오드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 p형 반도체층의 활성화 방법에 관한 것이다. 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 질화물 반도체의 p형 반도체층의 도판트 활성화 방법 및 이에 의해 제조되는 p형 반도체층을 제공하는데 있다.